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센서응용사례
작성일 2003-02-21
첨부#2 1045788958.bmp (0KB) (Down:4)
응용분야 전기전자, 기계, 화학
ㆍ추천: 0  ㆍ조회: 1299      
D12 Flat Finding

A wafer is rotated in a positioning fixture. Rotation stops when the light beams of both opposed-mode fiber optic sensors are established across the face of the wafer flat. High-response-speed D12 sensors (50 µs) are used to optimize stopping repeatability.


Objective:
Positioning of semiconductor wafers by locating the “flat.”

Sensor Models:
Two D12SN6FPY

Fiber Optic Models:
Two pairs of PIF26U individual fibers

자료출처 : BANNER

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