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매핑센서
SUNX 선크스사에서는 매핑센서를 시판한다
웨이퍼 맵핑센서의 단점에 대한 요구사항을 여러각도에서 감안하여 LED식 반사형의 맵핑센서를 출시하게 되었습니다.
LED광원의 사용으로 안전성을 높이고, 2분할 수광소자에 의한 고정도의 위치검출을 가능케 했다.
2분할 수광소자에 의한 고정도 위치검출
- 반사광량에 의한 검출에서는 반사광량과 웨이퍼의 끝부분에 의해 영향을 미친다. 그러나 M-DW1센서는 수광부에 2분할 수광소자를 사용하고, 반사광량이 아닌 반사광의 위치로 검출 즉, 웨이퍼의 두께와 반사광의 영향을 받지않은 설계이다.
▣ 안전성이 뛰어난 LED방식 채택
레이저빛을 사용하는 종래의 레이저식 맵핑센서는 레이저빛이 로보트 안쪽에서 FOUP를 벗어나 작업자에 닿아서 위험했다.그러나 M-DW1센서는 LED광원을 사용하기에 작업자를 위험으로부터 보호한다
▣ 질화막 웨이퍼 검출
질화막은 특정파장의 빛을 흡수하는 성질이 있고,흡수된 파장은 질화막의 두께에따라 변한다.단파장의 레이저빛을 사용하는 센서에서는 모든 빛이 흡수되고 검출하지 못할 수도있다.그러나 LED광원에는 빛의 파장대에 폭이 있기때문에 질화막의 웨이퍼에서도 확실하게 검출한다
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| 번호 |
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신제품명 |
개발(판매)회사 |
작성일 |
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45 |
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 초음파 탐촉자 [1]
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2003-01-20
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매핑센서
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리치스타 |
2003-01-20
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3416
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43 |
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레이져 모듈 [2]
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lanics |
2003-01-06
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2680
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42 |
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x 선 검출센서
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bnb 상사 |
2003-01-06
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1300
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41 |
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칼라마크센서
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상아테크 |
2003-01-06
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1594
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40 |
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아나로그 근접센서
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성진상사 /PLUSEN |
2002-12-22
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2599
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39 |
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리니어엔코다
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터크 |
2002-12-22
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1490
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38 |
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근접센서
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산일전기 |
2002-11-29
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2391
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37 |
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자동문 센서
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건흥 |
2002-11-28
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2942
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36 |
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절대치형엔코더
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baumer |
2002-11-23
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1414
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10
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센서허브넷 소개 
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