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| ㆍ작성일 |
2003-02-21 |
| ㆍ첨부#2 |
 1045788958.bmp
(0KB) (Down:4)
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| ㆍ응용분야 | 전기전자, 기계, 화학 |
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ㆍ추천: 0 ㆍ조회: 1359  
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D12 Flat Finding
A wafer is rotated in a positioning fixture. Rotation stops when the light beams of both opposed-mode fiber optic sensors are established across the face of the wafer flat. High-response-speed D12 sensors (50 µs) are used to optimize stopping repeatability.
Objective:
Positioning of semiconductor wafers by locating the “flat.”
Sensor Models:
Two D12SN6FPY
Fiber Optic Models:
Two pairs of PIF26U individual fibers
자료출처 : BANNER
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