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| ㆍ작성일 |
2003-02-10 |
| ㆍ첨부#2 |
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(0KB) (Down:25)
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| ㆍ응용분야 | 전기전자, 기계, 화학 |
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ㆍ추천: 0 ㆍ조회: 1884  
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PicoDot Wafer Mapping in FOUP
The two PicoDot sensors are positioned to sense the edge of the same wafer at the same time. If only one sensor "sees" a wafer edge, that wafer is most likely inserted at an angle, or "cross slotted."
Objective:
To detect semiconductor wafers which are improperly loaded into a cassette.
Sensor Models:
Two (2) PicoDot® convergent mode model PD45VN6C200.
자료출처 : BANNER
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