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| ㆍ작성일 |
2003-02-06 |
| ㆍ첨부#2 |
 1044495042.gif
(0KB) (Down:62)
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| ㆍ응용분야 | 전기전자, 기계, 화학 |
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ㆍ추천: 0 ㆍ조회: 4196  
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M12 and Q23 Wafer Mapping and Edge Detection
A laser emitter is used to offer a small beam pattern. The receiver uses an aperture with a 0.2" horizontal slot to ensure complete beam blockage by the wafer. The wafer cassette is located on a vertical elevator and is moved up and down while the cassette is mapped.
Objective:
To detect wafers in a wafer cassette
Sensor Models:
M126E2LD, Q23SN6R with AP19-00, modified with a 0.5 mm (0.02
자료출처 : BANNER
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