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| ㆍ작성일 |
2002-11-20 |
| ㆍ첨부#1 |
 32세정조마다의배기압관리.gif
(25KB) (Down:6)
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| ㆍ첨부#2 |
1037780072.gif
(0KB) (Down:11)
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| ㆍ개념 | 반도체, 전자부품 |
| ㆍ응용분야 | 전기전자, 기계 |
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ㆍ추천: 0 ㆍ조회: 1265  
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세정조마다의 배기압 관리
미소압 센서로 배기압을 검지하여 세정조마다의 배기압을 관리, 웨이퍼의 수율을 향상.
미소압 센서
E8M-A1/K3C-MP8-T1Z
자료출처 : 한국 오므론
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글 제 목 |
응용분야 |
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 MINI-BEAM Can Caps Inspection
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세정조마다의 배기압 관리
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