‘LED에 부착해 발열 문제를 해결한 첨단 히트파이프’, ‘발에 걸리는 압력을 측정하는 족저압측정장치’, ‘극한 환경에서도 온도를 측정할 수 있는 초소형 온도센서.’ 모두가 멤스(MEMS:초미세전자기계시스템) 기술을 이용해 지역 중소기업이 개발한 신제품이다.

멤스기술이 지역 전통 제조업에 접목돼 지역산업 경쟁력을 한 단계 높이는 대표적인 융합기술로 각광받고 있다.

　부산 소재 히트파이프 제조사 세기하이텍(대표 배영기 www.sekihitech.co.kr)은 지난 달 열이동율을 극대화한 멤스기술 기반의 새로운 ‘히트파이프’를 개발했다. 이 제품은 열이동의 최적화로 냉난방을 극대화하는 핵심 요소인 파이프 단면 설계와 제조에 멤스기술을 적용했다. 크기는 작지만 최대의 열이동율을 나타내 LED등 첨단 제품의 열교환장치로 제 몫을 했다.

올 초 ‘멤스용 기판을 위한 웨이퍼 재생기술 개발’에 나선 지앤피테크놀로지(대표 정해도 www.gnptech.com)는 그간 연구한 실리콘 웨이퍼의 화학·기계적 재생기술과 웨이퍼 표면 세정기술, 박막증착 공정기술을 결합해 최근 100㎜와 150㎜의 실리콘 웨이퍼 재생에 성공했다.

　지앤피는 이 기술을 발판삼아 멤스용 실리콘 웨이퍼 기판소재 시장과 멤스용 기판소재 재생을 위한 초정밀 연마장치 시장에 진출할 예정이며 향후 200mm 이상의 대구경 웨이퍼 재생공정 기술도 개발할 계획이다.

　에스티오(대표 구현회)는 사람의 발에 걸리는 압력을 측정하는 박막형 나노센서 기반의 ‘족저압측정장치’를 개발, 지난 달 선보였다. 에스티오는 측정 압력 분포도를 토대로 개개인에 맞는 맞춤형 신발을 제작할 수 있는 이 장치를 활용해 새로이 기능성 신발 시장 진출을 꾀하고 있다.

　이외에도 한국CMR(대표 김은봉 www.cmrkorea.com)은 멤스기술을 적용한 표면 실장형으로 온도측정 모듈에 직접 장착이 가능한 초소형 백금온도센서를, 대양전기공업(www.daeyang.co.kr)은 자동차와 선박 엔진에 직접 적용할 수 있는 고온·진동에 강한 신형 압력센서를, 크리스밴드(대표 구갑렬 www.crysband.co.kr)는 무극성 실리콘 카바이드 기판 제조기술을 각각 개발 완료했다.

이상익 부산테크노파크 멤스나노부품생산센터장은 “밸브류 제조사 등 의외의 기업에서 초정밀 가공에 필요한 기술 지원이나 센터보유 장비 사용 문의가 많아지고 있다”며 “멤스기술이 지역 전통제조업에 새로운 활로를 열어주는 대표적 융합기술로 각광받고 있다”고 말했다.

부산=임동식기자 dslim@etnews.co.kr